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廢氣直接催化氧化（CO） 中高濃度廢氣經過濾、與排放氣熱交換后進入催化爐，用電加熱或天燃氣加熱確保溫度250℃進入催化劑層催化氧化，氧化氣溫度可升高到350-450℃，與排放氣換熱后排出。當廢氣濃度2500mg/m3時，裝置可以實現熱平衡而不消耗額外熱源。 該工藝特別適合于連續性、濃度1500ppm、風量1000-30000m3/h的不含鹵素硫磷硅等醇醚酯酮醛烴胺類有機溶劑廢氣，可在30分鐘內開啟裝置正常運行。若廢氣原本的溫度較高，實現熱平衡的進口濃度可明顯降低。 該工藝與RTO比有明顯投資優勢和運行成本優勢。
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